电阻式加速度传感器

    图2. 29(a)为应变式加速度传感器结构示意图，悬臂梁1作为弹性元件，一端固定在壳体3的基础上，另一端装有质量块2，悬臂梁根部粘贴应变片4连接成差动电桥。

    电阻式加速度传感器结构与图2.29(a)相似，但它直接用单晶硅作悬臂梁，并在梁的根部扩散4个电阻组成差动电桥，梁的自由端仍装有惯性质量块。

    图2. 29(b)为张丝式加速度传感器，质量块7由弹性支承5支承在基座8上，电阻丝6连在活动质量块与基座之间，作为“m-k -c”（质量块一弹簧阻尼器）系统中弹簧的一部分，感受质量块的位移。当质量块相对于基座横向运动时，一组电阻丝被拉伸，另一组电阻丝被压缩，电阻相对变化通过电桥转换成电压输出。

    图2. 29(a)所示用以测量垂直方向的加速度，图2.29(b)所示用以测量水平方向的加速度，如果把二者安装方向转过90。，也可以分别测量横向加速度和竖向加速度。

 

    图2. 29  电阻式加速度传感器结构示意图

1-等强度梁；2-质量块；3-壳体；4-应变片；5-弹性支承；6-电阻丝；7-质量块；8-基座